六維力傳感器的核心技術之爭：應變式、光學式與電容式

殊途同歸的感知之路

在追求“機器觸覺”的道路上，工程師們并未固守單一的技術路線。正如人類通過神經末梢、觸覺小體等多種機制感知世界一樣，六維力傳感器領域也上演著一場精彩的技術路徑競賽。目前，市場主要由成熟的應變式技術主導，而光學式與電容式技術作為頗具潛力的挑戰者，正憑借其獨特優勢在特定領域嶄露頭角。本文將深入剖析這三條技術路徑的原理、優劣與未來。

第一模塊：技術王者：應變式傳感器

這是目前應用最廣泛、技術最成熟的方案，即我們前幾篇文章詳細介紹的技術。

• 工作原理： 基于金屬的應變效應。彈性體受力形變，導致粘貼其上的應變計電阻值發生變化，通過惠斯通電橋轉換為電壓信號，再經解耦得到六維力/力矩。
• 優勢：
  1. 高精度與高穩定性： 技術成熟，可實現極高的測量精度和長期穩定性。
  2. 高剛度： 金屬彈性體結構使其具有很高的剛度，對機器人系統動態性能影響小。
  3. 響應頻帶寬： 能夠測量從靜態到較高頻率的動態力。
  4. 成本相對可控： 在大規模應用下，成本優勢明顯。
• 挑戰：
  1. 信號微弱易受干擾： 原始毫伏級信號需精密調理，易受電磁干擾。
  2. 溫漂需補償： 對溫度變化敏感，需復雜的溫度補償電路和算法。
  3. 存在遲滯和蠕變： 受彈性體材料和膠水影響。

第二模塊：后起之秀：光學式傳感器

光學技術為力 sensing 提供了一種全新的思路。

• 工作原理： 通常在彈性體內布置一個或多個光學感應點。當彈性體受力形變時，會改變通過感應點的光路（如遮擋、折射角變化等）或光強。通過圖像傳感器或光電二極管檢測這種光學變化，再反算出力/力矩。另一種先進技術采用光纖光柵，通過感知應力導致的光柵波長漂移來測量。
• 優勢：
  1. 極強的抗電磁干擾能力： 光信號不受任何電磁場影響，適用于焊接、大型電機旁等強電磁干擾環境。
  2. 本質安全： 無電信號直接通過傳感頭，可用于易燃易爆等危險環境。
  3. 高分辨率： 理論上可以實現極高的分辨率。
• 挑戰：
  1. 系統復雜、成本高： 需要光源、光路系統和光電轉換模塊，系統集成度要求高。
  2. 溫度敏感性： 光學校準系統本身可能對溫度敏感。
  3. 長期穩定性與封裝挑戰： 光學元件的長期漂移和精密封裝是技術難點。

第三模塊：新興勢力：電容式傳感器

電容技術試圖在微型化和低成本方面取得突破。

• 工作原理： 基于平行板電容原理。在彈性體結構內部制作多個微型的電容極板。當彈性體受力形變時，會導致極板間的距離或相對面積發生微小變化，從而引起電容值的改變。通過測量多個電容值的變化，即可解算出六維力/力矩。
• 優勢：
  1. 高靈敏度、低功耗： 對微位移極其敏感，且本身功耗極低。
  2. 易于微型化： 可采用MEMS工藝制造，非常適合對體積和重量有苛刻要求的應用。
  3. 動態響應好： 響應速度快。
  4. 潛在的低成本： 在大規模批量生產時，MEMS工藝具有巨大的成本優勢。
• 挑戰：
  1. 量程與剛度的矛盾： 高靈敏度通常意味著極板間隙小，這限制了其量程和過載能力，整體剛度可能偏低。
  2. 寄生電容與溫度影響： 對雜散電容和溫度變化非常敏感，測量電路和補償算法復雜。
  3. 技術成熟度： 在六維力測量領域，該技術仍處于發展和完善階段，商業化的成熟產品較少。

第四模塊：華山論劍：三種技術路徑全方位對比

第五模塊：應用場景分野：各顯神通

不同的技術特性，自然導向了不同的應用領域。

• 應變式： 是目前絕對的主流，覆蓋了絕大部分工業場景，如機器人精密裝配、打磨、拋光，以及科研測試領域。它是通用性最強的選擇。
• 光學式： 主攻特種應用。在機器人電弧焊（強電磁場）、醫療MRI設備內的機器人（強磁場）、爆炸性環境以及一些高精度的實驗室測量中，它是不可替代的選擇。
• 電容式/MEMS式： 未來潛力巨大，主要面向微型機器人（如手術機器人導管頭端）、可穿戴設備（力反饋手套、運動捕捉）以及消費電子領域對成本和體積敏感的應用。

結語：融合與共存的未來

在可預見的未來，很難出現一種技術完全取代另一種技術的局面。應變式憑借其綜合優勢和成熟的生態，仍將長期占據主導地位。光學式和電容式則會在其優勢賽道上持續深耕，不斷擴大市場份額。更有可能出現的是技術融合，例如在應變式傳感器內部集成光學或電容原理的微型溫度傳感器進行更精準的補償。這場技術之爭，最終將推動整個行業不斷向前，為我們帶來更精準、更可靠、更廉價的機器“觸覺”，共同賦能智能時代。